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人民网北京9月15日电 (方经纶)据工业和信息化部官网消息,为促进首台(套恒达平台登录)重大技术装备创新发展和推广应用,加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同,工业和信息化部近日印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》(以下简称《指导目录》),其中在电子专用装备目录下,“集成电路生产装备”包括氟化氩光刻机,光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
按照市场监管总局等5部门于今年4月联合印发的《中国首台(套)重大技术装备检测评定管理办法(试行)》,重大技术装备是国之重器,事关综合国力和国家安全。中国首台(套)重大技术装备,是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品,包括整机设备、核心系统和关键零部件等。
《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》截图。
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